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home 星空在线平台 - 晶圆传输机器人 - Aligner 晶圆预对准装置
产品优势
全自研解决方案
全自研解决方案
核心部件均自主研发
兼容性
兼容性
可兼容多材质晶圆
适配性
适配性
可适配多尺寸晶圆
精准识别
精准识别
精准识别晶圆的位移与角度偏差
产品参数
晶圆纠偏精度
±0.1mm
晶圆转角精度
±0.2°
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