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SMIF是一种晶圆装载与检测集成装置，适用于150mm和200mm晶圆盒的自动开关盒，效率高，稳定性好，重复定位精度高，洁净等级为Class1；具有兼容150mm和200mm晶圆的mapping功能，能自动检测盒内各槽晶圆状态，例如单片、跨片；具有实时检测的机械手互锁和光栅互锁功能，可以有效保护机械手以及人身安全；具有RFID读取功能。

产品优势

可挂载

可挂载到符合SEMI标准的EFEM上

自动识别

自动识别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态

防夹手功能

内置防夹手功能

RFID

具有RFID读取功能

产品参数

重复位置精度

±0.1mm

晶圆尺寸

6 " 8 "

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