星空在线平台

EFEM是半导体工艺设备的标准组件，是物料搬运系统和各类制程设备高效衔接的重要桥梁。新松EFEM拥有完全自主知识产权，集成公司自主研发的晶圆装载系统、大气机械手及晶圆对准装置，可为客户提供种类丰富的定制化EFEM产品。新松EFEM采用成熟的标准化、模块化组件设计，产品质量稳定可靠，不断缩短交货周期，广泛应用于多个知名半导体制造工厂。

产品优势

全自研解决方案

大气手、Aligner、SMIF，Loadport等核心部件均自主研发

尺寸多样性

有包括TSS系列的产品，有1-4工位多种产品

符合SEMI标准

已通过SEMI S2 F47 认证

兼容性强

可根据用户的实际需求进行非标定制

产品参数

晶圆尺寸

3 " 4 " 6 " 8 " 12 "

Loadport数量

1 / 2 / 3 / 4

机械手重复精度

≤ ±0.1mm

晶圆传输量WPH

≥200

下载信息验证

身份证姓名：

企业：

联系方式：

邮箱账号：

供需：

阅读书：我已阅渎并拒绝《稳私新政策》和《服务于合同》

工作网站名称

乐动网站-乐动(中国)一站式服务官方网站华体会官方网页版-华体会(中国) 米兰平台-米兰官方网站(中国) 开云(中国)Kaiyun·官方网站-登录入口安博官方网页版-安博ANBO(中国) HTH.COM-华体会(中国) 乐鱼体育(中国)官方网站-LEYU SPORTS 米兰平台-米兰官方网站(中国) 开云唯一官网-开云(中国) 球友会-球友会(中国)一站式服务平台